聚乙烯醇肉桂酸酯（Poly(vinylcinnamate)）

目录

• 1. 简介
• 2. 主要用途
• 3. 生产技术
• 4. 安全防护
• 5. 待增加
• 6. 相关资料
• 7. 补充内容
• 8. 待增加
• 9. 本内容贡献者

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简介

% |) |3 Y% f0 \% N8 C3 O聚乙烯醇肉桂酸酯（Poly(vinylcinnamate)），淡黄色液体，乙烯基-3-苯基-2-丙烯酸酯的均聚物, 是一种负型光致抗蚀剂，在紫外光照射下聚合，不见光的部分不聚合。
英文别名:Ethenol, homopolymer, 3-phenyl-2-propenoate;
Polyvinyl cinnamate; Vinyl alcohol, cinnamoyl chloride reaction product;
(2E)-3-phenylprop-2-enoic acid - ethenol (1:1)
9 B+ p1 `* H  w% j* q- b/ Y6 U沸点：265℃ at 760 mmHg
6 V4 l6 @+ e" D) |3 q. w( c0 a闪点：189.5℃
  p. r2 l( W! ^# ~蒸气压：0.00471mmHg at 25℃ [1]
( q& b$ G; \3 Q4 L. t化学性质
) P1 x" d3 o; ^$ A. \曝光显影后图形分辨率好，质量稳定，对二氧化硅、硅、铝、氧化铬等材料有良好的附着力，能耐氢氟酸、磷酸腐蚀。广泛用于制备集成电路、电子元件的光刻工艺，亦适用于印刷线路板、金属表牌、光学仪器、精密量具等微细图形的加工

主要用途

（1）光致抗腐蚀剂,在紫外光照射下聚合，不见光的部分不聚合。曝光显影后图形分辨率好，质量稳定，对
" b  V( r' N% x# A二氧化硅、硅、铝、氧化铬等材料有良好的附着力，能耐氢氟酸、磷酸腐蚀。
$ p; X) B  k: [6 m( u6 u6 q（2）广泛用于制备集成电路、电子元件的光刻工艺，
（3）适用于印刷线路板、金属表牌、光学仪器、精密量具等微细图形的加工.和半导体器件不可缺少的产品。



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6 D# X) l5 a" O0 ]* J

生产技术

1 X  f7 s+ l* ^$ j
) q9 W- ], k, H: {: U1 v% i聚乙烯醇与肉桂酰氯在吡啶溶剂中反应制备.

* d; X: ]& T" k* h1 Q! H3 v  r( p
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安全防护

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待增加

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% l" ^) \7 U$ r. x! [

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相关资料

1.聚乙烯醇肉桂酸酯  ．化化网[引用日期2015-01-12]
" t1 C7 W( R2 h# C6 ]4 S

补充内容

* G2 }/ A, X/ ~4 d! R) L& p3 P' b
, V4 Q  z! A1 H! ?. h
+ L$ e7 O/ x9 P! T; n. t( @1 H

待增加

8 q9 h5 i1 M5 Z0 p: |4 U0 A! d: K

0 L. m. ^' o0 T1 d) f2 a. a

本内容贡献者

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