聚乙烯醇肉桂酸酯（Poly(vinylcinnamate)）

目录

• 1. 简介
• 2. 主要用途
• 3. 生产技术
• 4. 安全防护
• 5. 待增加
• 6. 相关资料
• 7. 补充内容
• 8. 待增加
• 9. 本内容贡献者

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简介

聚乙烯醇肉桂酸酯（Poly(vinylcinnamate)），淡黄色液体，乙烯基-3-苯基-2-丙烯酸酯的均聚物, 是一种负型光致抗蚀剂，在紫外光照射下聚合，不见光的部分不聚合。
英文别名:Ethenol, homopolymer, 3-phenyl-2-propenoate;
Polyvinyl cinnamate; Vinyl alcohol, cinnamoyl chloride reaction product;
(2E)-3-phenylprop-2-enoic acid - ethenol (1:1)
$ J( l0 r6 n8 j6 l+ h# U沸点：265℃ at 760 mmHg
9 ^: F: ~% t7 B$ l- d! G闪点：189.5℃
( R2 X% ~$ s+ p4 O) p. i: k1 T5 A蒸气压：0.00471mmHg at 25℃ [1]
' M  C, H) [3 \' O- q化学性质
" \0 X6 c" }% h# l( x曝光显影后图形分辨率好，质量稳定，对二氧化硅、硅、铝、氧化铬等材料有良好的附着力，能耐氢氟酸、磷酸腐蚀。广泛用于制备集成电路、电子元件的光刻工艺，亦适用于印刷线路板、金属表牌、光学仪器、精密量具等微细图形的加工

主要用途

（1）光致抗腐蚀剂,在紫外光照射下聚合，不见光的部分不聚合。曝光显影后图形分辨率好，质量稳定，对
二氧化硅、硅、铝、氧化铬等材料有良好的附着力，能耐氢氟酸、磷酸腐蚀。
（2）广泛用于制备集成电路、电子元件的光刻工艺，
（3）适用于印刷线路板、金属表牌、光学仪器、精密量具等微细图形的加工.和半导体器件不可缺少的产品。

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生产技术

& n/ N! }' u: D; e3 K" T: W聚乙烯醇与肉桂酰氯在吡啶溶剂中反应制备.
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安全防护

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待增加

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相关资料

1.聚乙烯醇肉桂酸酯  ．化化网[引用日期2015-01-12]
8 r  ?8 a- Z3 I, |. U2 ^+ k) L

补充内容

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待增加

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本内容贡献者

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