聚乙烯醇肉桂酸酯（Poly(vinylcinnamate)）

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, h/ S. k) i2 a7 s  @3 z1 `& L[baike]简介[/baike]
6 K9 X, S4 o& G0 p聚乙烯醇肉桂酸酯（Poly(vinylcinnamate)），淡黄色液体，乙烯基-3-苯基-2-丙烯酸酯的均聚物, 是一种负型光致抗蚀剂，在紫外光照射下聚合，不见光的部分不聚合。
7 ~- T6 Y7 I. F6 c7 W: H+ o英文别名:Ethenol, homopolymer, 3-phenyl-2-propenoate;
Polyvinyl cinnamate; Vinyl alcohol, cinnamoyl chloride reaction product;
& z( ~/ d" a* e6 [) z(2E)-3-phenylprop-2-enoic acid - ethenol (1:1)
沸点：265℃ at 760 mmHg
' p2 U- r2 D( {( {0 x闪点：189.5℃
蒸气压：0.00471mmHg at 25℃ [1]
化学性质
# W8 _9 A% h8 p0 r! M5 F* i曝光显影后图形分辨率好，质量稳定，对二氧化硅、硅、铝、氧化铬等材料有良好的附着力，能耐氢氟酸、磷酸腐蚀。广泛用于制备集成电路、电子元件的光刻工艺，亦适用于印刷线路板、金属表牌、光学仪器、精密量具等微细图形的加工
9 C) T4 h9 b2 i! d; p( H[baike]主要用途[/baike]
& ]0 a0 D9 ^0 w（1）光致抗腐蚀剂,在紫外光照射下聚合，不见光的部分不聚合。曝光显影后图形分辨率好，质量稳定，对
6 j' @& m- a/ m, P) M2 Y, G二氧化硅、硅、铝、氧化铬等材料有良好的附着力，能耐氢氟酸、磷酸腐蚀。
, i! i& z0 t& J; n+ [（2）广泛用于制备集成电路、电子元件的光刻工艺，
（3）适用于印刷线路板、金属表牌、光学仪器、精密量具等微细图形的加工.和半导体器件不可缺少的产品。

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0 V: Z2 g+ \( u4 U# U# ?2 \1 j  C[baike]生产技术[/baike]
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! y" [: c0 S/ i1 U7 o聚乙烯醇与肉桂酰氯在吡啶溶剂中反应制备.


+ `! o5 t0 t8 N9 m[baike]安全防护[/baike]


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[baike]待增加[/baike]
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( u+ L# D$ m9 T[baike]相关资料[/baike]
4 {, q7 ^6 r: H+ J, M7 t1.聚乙烯醇肉桂酸酯  ．化化网[引用日期2015-01-12]
[baike]补充内容[/baike]
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[baike]待增加[/baike]

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[baike]本内容贡献者[/baike]

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