聚乙烯醇肉桂酸酯（Poly(vinylcinnamate)）

目录

• 1. 简介
• 2. 主要用途
• 3. 生产技术
• 4. 安全防护
• 5. 待增加
• 6. 相关资料
• 7. 补充内容
• 8. 待增加
• 9. 本内容贡献者

简介

聚乙烯醇肉桂酸酯（Poly(vinylcinnamate)），淡黄色液体，乙烯基-3-苯基-2-丙烯酸酯的均聚物, 是一种负型光致抗蚀剂，在紫外光照射下聚合，不见光的部分不聚合。
英文别名:Ethenol, homopolymer, 3-phenyl-2-propenoate;
$ z( k0 C2 `4 H" `% B& hPolyvinyl cinnamate; Vinyl alcohol, cinnamoyl chloride reaction product;
0 f3 b0 {; a* y+ l(2E)-3-phenylprop-2-enoic acid - ethenol (1:1)
+ i5 t5 g1 H& Z1 E沸点：265℃ at 760 mmHg
闪点：189.5℃
蒸气压：0.00471mmHg at 25℃ [1]
% t6 q7 e  l0 d# Y% w化学性质
曝光显影后图形分辨率好，质量稳定，对二氧化硅、硅、铝、氧化铬等材料有良好的附着力，能耐氢氟酸、磷酸腐蚀。广泛用于制备集成电路、电子元件的光刻工艺，亦适用于印刷线路板、金属表牌、光学仪器、精密量具等微细图形的加工
. K( U% u' f7 r0 k$ Y

主要用途

0 V  A# E9 j/ H* w6 B（1）光致抗腐蚀剂,在紫外光照射下聚合，不见光的部分不聚合。曝光显影后图形分辨率好，质量稳定，对
二氧化硅、硅、铝、氧化铬等材料有良好的附着力，能耐氢氟酸、磷酸腐蚀。
% E% W: N; G' T" d, p0 V4 F, q; e（2）广泛用于制备集成电路、电子元件的光刻工艺，
$ t( c$ G0 m, o! W（3）适用于印刷线路板、金属表牌、光学仪器、精密量具等微细图形的加工.和半导体器件不可缺少的产品。



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生产技术

, V: ~4 A3 T' `3 G3 g& D聚乙烯醇与肉桂酰氯在吡啶溶剂中反应制备.

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安全防护

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待增加

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6 R% e) T- Q: {1 Z" p( C3 d
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相关资料

' L, F: L2 M! D9 F( V6 b1.聚乙烯醇肉桂酸酯  ．化化网[引用日期2015-01-12]
, h* U0 W# c  }

补充内容

7 b7 a: U1 p' h6 p" m' j

待增加

- c" m* O5 J! T2 R, B! k
& Y# [# z2 s" j: X

本内容贡献者

. e1 u: O3 q3 N% Y% E' |' k

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