甲硅烷分解沉积制备高纯多晶硅技术讨论

论坛似乎活跃度不高，不知何故？但似乎业内没有更好的平台，借海川宝地一叙。

      关于采用氯硅烷制备低成本的甲硅烷，中国目前似乎已经解决。前面发帖已进行探讨，但几乎无人参与。很遗憾。

      本帖主要针对中国的甲硅烷分解技术进行探讨。

      根据笔者调研，目前国内的12寸晶圆所需的多晶硅原料仍然完全依赖日本美国进口，

      笔者于2020年1月9日安捷伦上海的技术论坛上和国内某知名的12寸晶圆厂当面交流得知。

       国内黄河水电及协鑫的电子级多晶硅采用高纯三氯氢硅进行还原沉积制备，笔者推测三个因素可能导致这两家不能制取12寸晶圆所需的高纯多晶料。

       1）三氯氢硅提纯技术不过关；

       2）分解炉沉积工艺未能真正掌握核心技术，对于沉积的机理及纯度之间的关系并未真正吃透，只是在棒子的数量上和热场上局部做了些工作；

       3）电子材料制备的设备相关的加工工艺细节和材料的性能没有真正去关注到。

      硅烷相较于三氯氢硅更易纯化，只是解决了第一个因素，硅烷的分解和氯硅烷的分解差距非常大，目前国内的几家量产的硅烷玩家虽然申请了些专利，但似乎并未理解硅烷分解的精髓。第三个因素相同。

      以上，欢迎行业内专家同行批评指正，共同探讨，以期国内早日突破硅烷制备高质量的多晶硅棒，从而做出良率在90%以上的区熔单晶。

咋都不给面子？

有没有解决方案

dan116365 发表于 2021-1-16 21:06
有没有解决方案

当然。否则就不讨论了

gaosong08 发表于 2021-1-21 22:21
当然。否则就不讨论了

我们这边目前主要就是生产硅烷

gaosong08 发表于 2021-1-21 22:21
当然。否则就不讨论了

我们这边目前主要就是生产硅烷

dan116365 发表于 2021-1-22 10:37
我们这边目前主要就是生产硅烷

哪个省？

gaosong08 发表于 2021-1-23 17:26
哪个省？

浙江衢州

gaosong08 发表于 2021-1-23 17:26
哪个省？

浙江衢州

有些国外的也是用氯硅烷做的电子级多晶硅，可能主要问题是在细节的管控上。

tt777_1028 发表于 2021-1-26 08:28
有些国外的也是用氯硅烷做的电子级多晶硅，可能主要问题是在细节的管控上。

是的，一些本质的问题的理解上。

dan116365 发表于 2021-1-24 09:23
浙江衢州

知道了，你们用的氟硅法，全球唯一了，MEMC都倒闭了

gaosong08 发表于 2021-2-6 23:36
知道了，你们用的氟硅法，全球唯一了，MEMC都倒闭了

这个厂聘请的美国顾问吗，

dan116365 发表于 2021-2-7 10:47
这个厂聘请的美国顾问吗，

化工厂的工艺又不能随便改

gaosong08 发表于 2021-2-7 21:46
化工厂的工艺又不能随便改

做了这么久了，工艺还是欠缺啊！！！

gaosong08 发表于 2021-2-7 21:46
化工厂的工艺又不能随便改

做了这么久了，工艺还是欠缺啊！！！

陕西天宏已经在做了，来源于REC的硅烷法电子级多晶硅。

dan116365 发表于 2021-2-8 08:00
做了这么久了，工艺还是欠缺啊！！！

世界上没有唯一不变的真理，环境和人都能改变工艺的先进性。

Beyond_Earth 发表于 2021-2-8 18:20
陕西天宏已经在做了，来源于REC的硅烷法电子级多晶硅。

似乎迟迟不能量产，不知是啥原因。反而是中能的新闻铺天盖地。不过REC采用碳化硅涂层解决污染的技术似乎是真实的。

gaosong08 发表于 2021-2-13 22:51
世界上没有唯一不变的真理，环境和人都能改变工艺的先进性。

生产过程中，还是各方面问题不断，各项参数调整没有一个标准