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[讨论] 多晶硅生产中原生氯硅烷质量好还是还原回收料质量好

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uranuszVIP会员 VIP会员 | 显示全部楼层 |阅读模式       最后访问IP陕西省
【海川小学3年】  |  头衔:  TA未设置 
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如题
个人认为原生氯硅烷是系统杂质的来源，在不考虑系统泄漏污染的情况下，其中的杂质含量必然要高于还原回收料中的杂质含量，故个人认为还原回收料质量要优于原生氯硅烷所产三氯氢硅。

 

发表于 2017-2-10 09:54:32

多晶硅, 原生, 质量好, 生产中, 硅烷

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蛊虫VIP会员 VIP会员 | 显示全部楼层       最后访问IP内蒙古自治区
【海川高一】  |  头衔:  【小白来学习】
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对于硼磷、金属离子什么的，你的结论正确，其他的就不好说了吧。要知道，杂质还包括甲烷、氯化氢、氮气……

 

发表于 2017-2-13 12:40:04

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uranusz楼主 VIP会员 VIP会员 | 显示全部楼层       最后访问IP陕西省
【海川小学3年】  |  头衔:  TA未设置 
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硼磷是影响多晶硅质量的关键含量指标，其它杂质如金属杂质、甲基等对于成品质量的影响感觉并不明显。现在不太清楚，在沉积多晶硅的单位时间内沉积的杂质量是高于消耗物料的平均杂质含量还是低于。若高于，则还原回收料在经过气相沉积后其杂质总量将会降低，若低于则还原回收料在经过气相沉积后将会升高。是否有人对此进行过研究？

 

发表于 2017-4-5 11:51:51

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