层流质量流量计如何选型

这篇文章主要给大家介绍一下层流质量流量计如何选型，这里要注意我们说的质量流量计是MFM，只有测量功能，不带控制阀门的流量计。

层流质量流量计的选型主要有几个主要参数需要注意。即压力、温度、流量、通讯、介质。

一、压力

压力方面要看两个点，一个是气源的最大压力 ，一个是最小压力。

气源最大压力对照的参数要看流量计的最大工作压力，比如：流量计参数表中工作压力0~1MPa，说明流量计使用过程中要求气源的最大压力不能超过1MPa。这里要注意流量计有一个参数是耐压，耐压即流量计能够承受的最大气源压力，这个耐压的压力是讲的瞬时压力，即短时间过载是不会影响流量计的正常使用。

气源最小压力我们要看的是流量计的压损，众所周知气体在流动过程中会有压力损失。同样，气体通过流量计同样会有压力损失，这就要求气源最小压力要大于流量计的压损，以免影响气体的正常流动状态，使得测量值不准确。层流质量流量计常规压损4KPa，当气源压力比较小，比如只有6~7KPa，我们就需要选用低压损的流量计，因为压损不止只在流量计这里有，管道、阀门这些管路中的零配件都存在压损，因此需要选用更低压损的流量计来保证读数的可靠性。如果气源压力更小只有1~2KPa，我们就要选用极低压损流量计。

二、温度

    这里的温度指的是被测介质的温度，层流质量流量计正常可测介质的温度范围在-20℃~60℃之间，如果被测介质温度高于60℃，需要选用高温型流量计，如果被测介质小于-20℃，就需要选用低温型流量计。

三、流量

    层流质量流量计选型一个最主要的参数就是被测气体的流量范围，常规层流质量流量计的工作范围是1%~100% F.S.（Full Scale满量程）。就拿100 SCCM的流量计来举例，它的正常测量范围是1 ml/min~100 ml/min。所有的流量计都有一个工作范围，绝不是从0~100%F.S.，因此选型时要额外注意。另外，也要结合流量计的准确精度保证范围来选择流量计的流量型号。还拿100 SCCM的流量计来举例，如果厂家标注的准确精度是1%RD（Reading读数）（20%~100%量程范围）；0.2%F.S.（1%~20%量程范围），说明这款流量计在20ml/min~100 ml/min的流量范围内，准确精度是1%RD；在1 ml/min~20 ml/min的流量范围内，准确精度是0.2%F.S.，即误差±0.2ml/min.

四、通讯方式

    通讯方式选择主要涉及在配套设备中的控制方式匹配，常用的有模拟信号4-20mA，或者数字信号RS485，可根据控制模块来选择。模拟信号会涉及到信号损失，且容易受到强电流、电磁干扰，通讯准确度不如数字信号；数字信号会比数字信号在通讯速度上略有延迟。当然，数字信号优势明显大于模拟信号，因为它准确度高，误差小。

五、介质

    流量计选择时也要注意所测量介质是否具有腐蚀性，若为强腐蚀气体，需要选用耐腐蚀流量计，常规气体即可选用常规款流量计。耐腐蚀和常规流量计主要涉及材料和封装方式上有差异。

六、精度

流量计测量都有误差，我们叫准确精度，常见精度有1%RD，也有1%F.S.，这两种准确精度其实差别是很大的。1%RD我们叫读数误差，误差大小是流量计读数值×0.01。1%F.S.我们叫满量程误差，误差大小是流量计满量程×0.01。还拿100 SCCM的流量计来举例，在测量50ml/min的流量时，如果是准确精度1%RD的流量计，测量误差是±0.5ml/min；如果是准确精度1%F.S.的流量计，测量误差是±1ml/min，而且是全量程内误差均是±1ml/min。因此，了解精度的概念对流量计选型也很重要。

除了以上提到的几个参数外，还有一点需要注意，流量计上标注的准确精度都有一个保证的范围，包括但不限于对流量范围、温度范围、压力范围的要求，其实也是对工况的要求。

最后要说的是在负压下如果要测量气体流量，需要选用专门的负压流量计，这里说的负压即绝压0~101KPa，负压流量计和正压流量计的设计是不一样的，因此千万不要用常规款流量计去检测负压状态的气体流量。即便能测量，但是其显示的读数也是不准确的。

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