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干式风冷螺杆真空泵介绍 概述 一般的 真空系统无法满足清洁无油及耐腐蚀的要求,大量的有油真空系统已被无油清洁 的真空系统所代替, 干式无油、清洁环保的真空获得产品将加速替代水环泵、水喷射真空泵、 往复泵、油封式机械泵。螺杆真空泵属于非接触型干式泵, 是 20 世纪 90 年代初期出现的一种理想的真空泵,以其抽速范围宽、结构简单紧凑、抽气腔元件无摩擦、寿命长、能耗低、无油污染等优点。 螺杆真空泵是由一对平行的螺旋状转子与泵体组成的一个工作室,转子与泵体之间没有摩擦 且保持一定的间隙,两个转子与泵体之间形成了密封腔,当转子旋转时把密封腔内的气体不 断地挤带至排气口排出。因螺杆真空泵无需油润滑或水密封,泵腔内完全无油,因此螺杆真 空泵是无油干式真空泵,在半导体、电子工业中要求无油洁净的场合以及化工制药中对溶剂 的回收工艺等具有不可比拟的优越性,它是往复泵、水环泵、水喷射真空泵、油封式滑阀真空泵、旋片式真空泵、及罗茨机组的更新换代产品。 使用范围 ① 电工:变压器、互感器、环氧树脂真空浇注、电容器真空浸油、真空压力浸渍。 ② 化工、制药:产品蒸馏、干燥、脱气、浓缩、物料输送。 ③ 工业炉:真空钎焊、真空烧结、真空退火、真空加压气淬、真空脱羟等。 ④ 真空镀膜:真空蒸发镀膜、真空磁控溅射镀膜、薄膜卷绕连续镀膜、离子镀等。 ⑤ 冶金:特种钢冶炼、真空感应炉、真空脱硫、脱气。 ⑥ 航空、航天:航天搭载飞船轨道舱、返回舱、火箭姿态调整舱、宇航服、宇航员太空出 舱、飞机升空等真空模似试验。 ⑦ 干燥:变压法真空干燥、煤油气箱干燥、木材干燥、蔬菜冷冻干燥等。 ⑧ 电子行业,半导体行业。 结构原理 螺杆式无油机械真空泵又称为干式螺杆真空泵,是利用齿轮传动同步反向旋转的相互啮合而不接触的左螺杆与右螺杆作高速转动,利用泵壳和相互啮合的螺旋将螺旋槽分隔成多个空间、形成多个级,气体在相等的各个槽内进行传输运动,但无压缩,只有螺杆最末端的螺旋结构对气体有压缩作用。变螺距螺杆真空泵在泵腔内部逐级进行压缩。螺杆的各级间可形成压力梯度,以分散压差和提高压缩比。各部间隙和泵转速对泵的性能有很大影响。在设计螺杆各部的间隙时,要考虑膨胀、加工及装配精度和工作环境 ( 如抽除含粉尘气体 ) 等。该泵与罗茨真空泵一样不设排气阀。泵腔内无油,对真空系统无污染,利于尾气回收,环保。 螺杆真空泵的一个导程相当于一级泵,多个导程的螺杆真空泵相当于多级泵串联,吸入的气体平稳的加压高于排出处的气体压力。电机的动力通过联轴器传输给主动轴,主转动轴再通过等比齿轮传输给从动轴。
性能特点①:干式风冷螺杆真空泵是我公司结合国内外众多螺杆真空泵的基础上,采用先进的加工 技术自主创新而开发的高性价比新型真空泵,具有高效、节能、环保、重量轻便、使用方便、 性能可靠等优点,此 1款真空泵代表着我公司未来发展方向。 ②:起始真空度高(一般水冷螺杆泵起始真空度低,抽较长时间才能达到极限真空)。 ③:螺杆采用高精度先进的加工技术。 ④:环保、无油无水无污染、可获得清洁真空,被抽物料可回收利用。 ⑤:节能,螺杆采用多级变螺距节能技术,可降低 30%-50%的能耗。 ⑥:具有抗腐蚀的保护层(不能用于强酸强碱场合)。 ⑦:采用风冷结构,使用更方便简单。 ⑧:极限真空高,可到达 3Pa,工作区域宽,从大气压到极限真空可连续运行。 ⑨:可靠的密封结构,采用不锈钢双唇轴封(PTFE)+陶瓷轴套,有良好的耐摩擦能力。 ⑩:采用新型轻型材料,重量较轻 技术参数
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