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[资源分享] 怎样确定干涉条纹的数量

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密封端面的平面度不同,条纹的种类也不同。图16表示了几种平面度合格的图像,至于不合格的图像各式各样未予绘出。

图16.jpg

图16a是平直的条纹,表明密封端面的平面度接近光学平晶的平面度,显然这种平面度最高;图16b是弯曲的条纹,干涉条纹数在一条以内,即小于0.3μm;图16c也是弯曲的条纹,干涉条纹数为两条,平面度在0.6μm以内;图16d是同心圆状的干涉条纹,如果是从平板研磨后取下来检验平面度,这说明端面的内缘高,外缘较低,同心圆数量越多,其内外缘高低差别越大。对压力不高的密封不能超过3个同心圆(按平面度0.0009mm控制),否则密封端面泄漏量过大。在压力较高的平衡型密封中,可能将密封端面推开,因此,如出现同心圆状的条纹,不要超过2个。

平面度检验时务必经抛光后才能进行,否则,表面光洁度不够,条纹照射不出来,尤其对石墨环更是这样。此外,平晶和密封环端面要擦干净,不得有水分和灰尘,平晶要精心保管,避免将面擦伤。为了保证检验的精度,还应对平晶定期校验。


 

发表于 2023-12-1 09:27:52

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干涉条纹是干涉仪中两束光波相遇时产生的一种现象,其中一束光通常来自于参照表面(通常为一个已知的光学平面),另一束光来自于被测试表面。当这两束光波相遇时,会因相干性而在空间中形成明暗相间的条纹,这就是干涉条纹。通过观察和分析这些干涉条纹,可以推断出被测试表面的平面度。

根据您的描述,可以使用以下步骤来确定干涉条纹的数量和平面度:

1. 准备光学平面(平晶)和被测密封端面(试件),确保两者都已清洁干净,没有水分和灰尘。

2. 将被测密封端面放置在光学平面上,使用干涉仪投射相干光源到这两个表面上。

3. 观察产生的干涉条纹。如果条纹是平直的(如图16a),这说明试件的平面度接近光学平面的平面度,平面度较高。

4. 如果条纹是弯曲的(如图16b和图16c),则通过观察弯曲的程度和条纹数来评估平面度。通常,每一条完整的干涉条纹代表半个波长的高差。所以根据您所用的光源波长,您可以计算出平面度。例如,0.3微米波长的光,条纹数小于1条(即高差小于0.3微米),图16c的干涉条纹数为两条,平面度在0.6微米以内。

5. 如果观察到同心圆状的干涉条纹(如图16d),这表明试件的中心部分与边缘部分存在高度差异。同心圆的数量越多,这种高低差别越大。依据具体要求(如密封对平面度的标准),决定是否接受此种平面度。

6. 最后,根据您的密封要求(如压力水平等)来确定条纹数量的标准。例如,对于压力不高的密封,不超过3个同心圆(按照平面度0.0009mm控制);对于压力较高的平衡型密封,不要超过2个同心圆。

为了保证检验的精度,平晶应定期校验,确保其平整度和完好程度,以维持准确的测量结果。
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发表于 2023-12-1 10:22:44

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