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25%和2.38%TMAH在线浓度检测系统

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发表于 2021-2-19 11:45:03 | 显示全部楼层 |阅读模式

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四甲基氢氧化铵(TMAH),在电子行业中广泛用作TFT-LCD、IC正胶显影剂、硅晶蚀刻剂、CMP过程超纯清洗剂,同时也是液晶显示器中的显像液。随着电子工业日新月异的发展,PCB技术也在飞速发展。作为PCB图形成像之关键工序—显影,直接影响着线路品质及阻焊的品质,显影的品质要求不能有显影不净,不能有显影过度,不能有掉线和绿油脱落等,显影露铜点50% ~ 60%(一半显影段)。因此显影液浓度的控制对显影工序起着非常重要的作用。
根据工艺要求需要将现存的浓度为25%的TMAH洁净液调配稀释到目标浓度2.38%,需要在线仪表提供准确TMAH浓度测量,已达到精确配置目标浓度显影液的目的。目前行业内常用采样后分析系统测量TMAH的浓度,测量过程大概需要20分钟时间,该方式不具备实时性,过程管道的浓度变化无法及时监测到,导致调控滞后。为了提高生产量,显影液的配对效率需要提高,缩短配比的时间,需要在线实时对TMAH的浓度进行监控,完善工艺控制要求。采用超声波声速原理的TMAH在线浓度仪能够满足在线检测要求,且测量精度高。
  四甲基氢氧化铵(TMAH)在线浓度计利用超声波声速变化与TMAH溶液的浓度有极好的对应关系。通过换算从而得到溶液的实际浓度。这种测量原理稳定性好,精度高,它适用于管道安装或容器壁处的安装,以及其它等多种安装方式。
给大家推荐一款在线式超声波浓度计可以广泛应用于25%和2.38%浓度TMAH的在线检测。精度可以达到0.003%以上。液晶面板及半导体行业应用业绩丰富,欢迎咨询了解。
大家感兴趣可以联系。18615997765



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