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[讨论] 多晶硅金属杂质、B及P的去除

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发表于 2020-2-10 14:30:44 | 显示全部楼层 |阅读模式

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在还原炉内,各种杂质是如何沉积在多晶硅的表面,如何降低包括金属、B、P各类杂质沉积的?请问各位有何高见?

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发表于 2020-3-25 21:37:12 | 显示全部楼层
可以用树脂净化,效果好,成本低

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Peterpaul彼得保罗


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发表于 2020-5-6 07:55:53 | 显示全部楼层
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发表于 2020-5-7 16:14:16 | 显示全部楼层
用树脂在前端净化

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发表于 2020-5-14 15:36:02 | 显示全部楼层
先用氢化装置的粗分进行提纯TCS,在经过树脂进行吸附,在经过精馏二次提纯。

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