【化工科技十年大发展】243-2023年华陆公司多晶硅生产技术获中国专利银奖

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近日，国家知识产权局公布了第二十四届中国专利奖获奖名单，中国化学工程华陆工程科技有限责任公司申报的“一种用于多晶硅生产提高还原沉积反应效率的方法”获得银奖。



作为目前多晶硅主流生产工艺，改良西门子法采用高纯氯硅烷在还原炉内进行气相沉积反应生产高纯多晶硅，即在1050-1080℃的硅芯表面氯硅烷被还原为硅并不断沉积生长在硅芯表面形成多晶硅棒。多晶硅还原装置作为多晶硅最终产品的生产车间，同时也是多晶硅生产过程中的主要耗能单元，其重要性不言而喻。该装置的高效运行对产品质量、能源消耗均起到决定性作用。多晶硅还原装置气相沉积反应为多变量复杂生产过程，受多种因素影响，如还原炉结构、炉内操作温度、压力、进料摩尔比、进料生长曲线、进出气喷嘴、冷却水温度、加载电流、硅棒布置方式等。

华陆公司材料能源事业部副总经理柯曾鹏告诉记者，多晶硅技术团队经过攻关探索，基于机理突破、模拟验证、创新实践和多年经验积累，首次提出将三氯氢硅和二氯二氢硅液体分别采用独立的汽化器和过热器，分别进行汽化和过热，三氯氢硅气体、二氯二氢硅气体及高纯氢气通过各自独立的流量控制单元，以合适的时间、配比和流量进入还原炉进行反应。即在反应初期控制较大比例的二氯二氢硅进入还原炉，使得硅芯在初期快速增长，提高系统沉积效率；为了避免还原炉出现“雾化”等不利现象发生，在多晶硅沉积反应后期停止二氯二氢硅进料，从而在提高了多晶硅产品质量、生产效率的同时，避免了无定型硅粉的产生以及造成系统堵塞。

该专利技术群的实施，使多晶硅生产企业提高反应沉积效率，缩短反应周期，提高三氯氢硅有效转化率，降低生产系统循环量，装置的生产运行成本和投资显著降低。

据悉，中国专利奖是我国唯一的专门对授予专利权的发明创造给予奖励的**部门奖，也是我国专利领域的最高荣誉，得到联合国世界知识产权组织（WIPO）认可，在国际上有着重要影响力。

近年来，我国光伏产业快速发展，特别是上游多晶硅产能和产量稳定增长，为光伏行业提供了坚实的原料基础。在光伏领域深耕多年的华陆公司不断坚持技术创新，已形成了3000吨级、6000吨级、10000吨级、15000吨、30000吨、50000吨、100000吨级等一系列完整的多晶硅技术工艺包，实现多晶硅产品由千吨级到十万吨级的跨越。目前，华陆公司设计的多晶硅项目产能占全国总产能的90%以上。近3年国内新增的300万吨多晶硅产能项目，大多是由华陆公司采用专有专利技术完成的工程设计。同时，该公司形成了多晶硅系列技术群，获得专有专利成果14项，其中发明专利4项，除提高还原沉积反应效率方法外，还包括“制备三氯氢硅和多晶硅的改进方法和装置”“一种三氯氢硅合成尾气回收方法”“一种用于三氯氢硅生产的除尘工艺及系统”。

十多年前，多晶硅技术研发是群雄逐鹿，技术掌握在厂家手中，但厂家没有工程化能力，于是与设计院签署保密协议后开展工程化设计，架不住设计院与多家签保密协议，结果博采众家，技术掌握和创新集成反倒成了某些设计院的专利。

智者明 发表于 2023-9-5 17:44
十多年前，多晶硅技术研发是群雄逐鹿，技术掌握在厂家手中，但厂家没有工程化能力，于是与设计院签署保密协 ...

呵呵，这个也不错
据说永祥的技术不错

为化工科技大发展点赞

沙漠里的游鱼 发表于 2023-9-5 17:50
呵呵，这个也不错
据说永祥的技术不错

现在厂家搞项目，为了技术保密，都把设计团队拘到厂家，设一独立办公室，电脑、软件一一配齐，没有网络、USB口取消，PFD、PID甲方提供，设计团队负责工程化，就是不让你带走一张纸、一份数据。

jlszhoujidai 发表于 2023-9-6 09:37
为化工科技大发展点赞

【化工装备十年大发展】1132-2023年我国首台九轴全位置智能焊接机器人
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(出处: 海川化工论坛网)

智者明 发表于 2023-9-6 12:18
现在厂家搞项目，为了技术保密，都把设计团队拘到厂家，设一独立办公室，电脑、软件一一配齐，没有网络、 ...

不是可以默写吗

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化工科技十年大发展，赞盛世中华繁荣富强

沙漠里的游鱼 发表于 2023-9-6 13:16
不是可以默写吗

几个月的封闭设计，啥数据都记不下来，满脑袋都是图纸。