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[求助] 半导体超纯水设备

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工厂要上一套超半导体超纯水设备,咨询了几家不太理想,要么说指标按照国标《电子级水-2013版》,要么说第三方检测大概只能到 0.1ppb。有没有用过半导体级超纯水设备的行家推荐推荐,最好是在长三角地区。(注:工厂所在地苏州,进水自来水,出水量约 0.5吨/时,电阻率 >18 兆欧,TOC<3ppb,溶解SiO2<3ppb,溶解氧<10ppb,金属离子<0.02ppt)。

 

发表于 2020-7-14 13:42:46

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常规工艺是两级RO+EDI+抛光混床树脂或者RO+阳树脂+阴树脂+普通混床+抛光混床

 

发表于 2021-1-14 19:56:05

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Peterpaul彼得保罗
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