日志
电子级化学品阀门是用于控制电子级化学品输送、分配和流量等的关键设备，以下是相关介绍：
特点
- 高纯度：阀门材质通常选用高纯PFA、PTFE等氟塑料或超高纯不锈钢等，无添加剂，非粘附性减少颗粒积累，避免电子级化学品污染。
- 强耐腐蚀性：能抵御电子级化学品中强酸、强碱、有机溶剂等侵蚀，如PFA阀门可长期接触蚀刻液等腐蚀性物质而保持性能稳定。
- 优异密封性：采用精密设计和优质密封材料，如双平面或球面阀座结构、硬质合金阀芯等，减少泄漏风险，确保化学品精准输送。
- 良好的耐高温性：可承受电子工艺中高温处理步骤，像PFA材料阀门使用温度范围一般为-200°C至+260°C。
- 精确的流量控制：可实现从完全开启到关闭的任意位置调节，快速准确地控制电子级化学品流量和压力。
应用场景
- 半导体制造：在晶圆加工环节，用于光刻胶、蚀刻剂等腐蚀性化学品输送；晶圆清洗时，控制清洗液流量和压力；在气体输送系统中，确保氨气、氮气等气体纯度。
- 平板显示制造：用于液晶显示、OLED显示等生产过程中，控制光刻、显影、蚀刻等工艺中电子级化学品的供应和流量。
- 太阳能电池生产：在硅片清洗、扩散、刻蚀等工序中，精确控制各类电子级化学品的输送和流量，保证电池片的质量和性能。
- 其他电子领域：在电子材料制备、电子元器件制造等其他电子相关领域，电子级化学品阀门也起着控制化学品供应和流量的重要作用，确保产品质量和生产过程的稳定性。
