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关于鼓泡式汽化器配比计算探讨

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国内很多多晶硅厂家多晶硅车间TCS和H2混合都采用鼓泡式的操作,计算方式大家也比较统一,即算出TCS在气化温度下的饱和蒸汽压,然后根据操作压力(一般为表压,需要转为绝压进行计算)计算出H2分压,从而能得到H2:TCS的配比。
     开这个帖子的目的是将我自己得到的一点经验给大家分享一下,也请大家帮忙验证一下我的计算是否准确,并且讨论下TCS分压计算公式选哪一个公式?
          目前我使用的主要是四个公式:
           a. 化工上常用的安托尼方程式,即: 1.jpg ,其中的五个系数可查手册得到,P单位为mmHg;
           b. 行业内惯用的两个经验公式,行业内的人应该都知道 2.jpg 这个公式算出来和安托尼方程式相差较大,P单位为KPa;
           c. 根据几组实际TCS饱和蒸汽压值通过Origin拟合曲线得出的公式 3.jpg 进行计算,结果和安托尼方程式很接近,P单位为KPa。
          请问给位TX,你们是选用的什么公式进行计算?我的计算方式是否妥当?请指正。
          也请各位TX分享下还有其他的计算方式没有?多多交流。

 

发表于 2010-4-30 14:58:46

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poqwie007VIP会员 VIP会员 | 显示全部楼层       最后访问IP四川省
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最好的应该是 安托万方程吧

虽然你自己拟合的曲线也合适,但是万一你不知道饱和蒸汽压呢;

 

发表于 2010-4-30 15:01:47

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Peterpaul彼得保罗
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poqwie007VIP会员 VIP会员 | 显示全部楼层       最后访问IP四川省
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既然都已经知道饱和蒸汽压了 大概就没必要拟合了 呵呵

因为 计算配比就是根据饱和蒸汽压来的

 

发表于 2010-4-30 15:02:57

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5izw楼主 VIP会员 VIP会员 | 显示全部楼层       最后访问IP四川省
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2# poqwie007

嗯,的确这样,根据分析结果来看,也是这样,但分析的方式还有待改进,现在的取样方式还不太行,顺便探讨下,还原炉进出口气取样分析,怎么做才是最准确的?

 

发表于 2010-4-30 15:04:28

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5izw楼主 VIP会员 VIP会员 | 显示全部楼层       最后访问IP四川省
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3# poqwie007

知道的数据毕竟是少数,要想知道全部的数据,特别是在用Excel做进料表时更加需要公式的支持。

 

发表于 2010-4-30 15:07:17

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szp668VIP会员 VIP会员 | 显示全部楼层       最后访问IP四川省
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我个人认第一个安托因方程式正确的。其余的东西不准确,还可以根据拓展的安托因方程利用ASPEN来计算出所有物质的饱和蒸汽压。

 

发表于 2010-4-30 17:10:03

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5izw楼主 VIP会员 VIP会员 | 显示全部楼层       最后访问IP四川省
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但从实际的生产数据和分析数据跟踪来看,Antoine公式进行配比计算还是不怎么准确,还有误差,不容易找出与实际数据匹配的计算公式

 

发表于 2010-5-4 11:14:37

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kuku87VIP会员 VIP会员 | 显示全部楼层       最后访问IP内蒙古自治区
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现在设计最好不要用鼓泡器,直接加热汽化就可以了!

 

发表于 2010-5-7 11:57:40

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吉人赤子VIP会员 VIP会员 | 显示全部楼层       最后访问IP四川省
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理论计算是实际操作的依据过程,实际操作时是要按尾气数据进行汽化操作的修正的

 

发表于 2010-5-7 14:52:04

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5izw楼主 VIP会员 VIP会员 | 显示全部楼层       最后访问IP四川省
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理论计算是实际操作的依据过程,实际操作时是要按尾气数据进行汽化操作的修正的
吉人赤子 发表于 2010-5-7 14:52

按尾气数据进行修正?
能详细说说吗?修正前后的配比能数据化不?

 

发表于 2010-5-7 16:23:11

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bb860329VIP会员 VIP会员 | 显示全部楼层       最后访问IP内蒙古自治区
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回复 1# 5izw版主,说得好

 

发表于 2011-8-2 21:07:44

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灰色轨迹_HLQGVIP会员 VIP会员 | 显示全部楼层       最后访问IP湖北省
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谁知道用ASPEN怎么算?怎么生成表格?

 

发表于 2019-6-28 19:12:09

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