山东东岳绿冷科技有限公司含氟电子特气优化改造项目

7月14日，淄博市生态环境局桓台分局受理了山东东岳绿冷科技有限公司含氟电子特气优化改造项目并予以公示。

项目名称：含氟电子特气优化改造项目；

建设地点：山东东岳绿冷科技有限公司现有南厂区内；
建设投资：500万元；
建设性质：新建；
建设单位：山东东岳绿冷科技有限公司；
建设内容及规模：建设1条40吨/年电子特气生产线，包括电子级三氟甲烷 20t/a、电子级八氟环丁烷20t/a。
电子特种气体是半导体制造的关键原材料，主要应用于光刻、刻蚀、成膜、清洗、掺杂、沉积等工艺环节。近年来，中国电子特种气体市场规模持续增长，未来有较大发展空间。

在此背景下，山东东岳绿冷科技有限公司依托自身在氟化工领域的技术积累，于2023年4月投资建设年产40吨含氟电子特气材料项目，目前该项目已验收。

为进一步把握市场机遇，扩大该领域市场份额，该公司拟新增投资500 万元建设“山东东岳绿冷科技有限公司含氟电子特气优化改造项目”。

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