多晶硅安全生产规范再次征求意见

多晶硅安全生产规范再次征求意见

2025年02月07日

为强化多晶硅安全风险管控，促进多晶硅行业的整体安全水平提升，应急管理部组织制定了行业标准《多晶硅安全生产规范(再次征求意见稿)》（以下简称《规范》），并于1月20日起向社会公开征求意见。

据了解，生产多晶硅过程中涉及氯硅烷、硅烷、氯化氢、氯气、氢气等多种性质活泼的危险化学品，具有易燃、易爆、有毒及腐蚀特性。此外，高纯硅粉、回收硅粉不仅具有粉尘爆燃风险，还会磨损设备管道，容易造成危险物料泄漏。近几年来，多晶硅企业在生产运行环节和检维修环节的事故多发频发。

应急管理部相关负责人表示，现行标准对于多晶硅企业工艺设计、安全设施设计要求内容较少，尤其是多晶硅行业常见的防范氯硅烷、氯化氢、氯气的腐蚀风险；防范硅粉的磨损风险；合成炉、反应器等生产工艺、设备参数的安全监控、异常情况下的紧急停车要求等。

上述负责人进一步指出，《规范》针对当前多晶硅生产采用的三氯氢硅还原法工艺和硅烷流化床法工艺，围绕多晶硅行业安全风险隐患排查指南及专项检查过程中暴露的问题，本着机械化换人、自动化减人、智能化无人的原则，注重从源头提升本质安全水平，努力降低工艺操作安全风险。

《规范》界定了采用三氯氢硅还原法和硅烷流化床法生产多晶硅的术语和定义，按照三氯氢硅还原法和硅烷流化床法不同工艺流程走向，从硅粉研磨、多晶硅生产、粗品后加工、储存直到尾气处理等逐个工序规定了企业从设计到生产、储存、应急处置环节的安全风险管控要求，同时针对回收硅粉的风险特点，增加了回收硅粉的管理要求。

  《规范》强调，企业应建立防腐(磨)蚀、防泄漏管理制度，重点加强对氢气、氯气、硅粉、氯硅烷、硅烷的设备、仪表、管线的泄漏管理，确定检测部位、检测频次和检测方式。定期对涉及硅粉的管线、设备内壁和承插管磨损情况进行检查，根据设备壁厚减薄情况评估防腐效果、核算设备剩余使用寿命。

根据三氯氢硅还原法和硅烷流化床法不同生产方式及涉及的关键装置、重点部位特点，《规范》明确了各工序生产需要监控的工艺参数及报警系统设置，并对安全联锁系统的设置提出了详细的要求；在应急充氮保护方面，提出了三氯氢硅合成炉、还原炉等设备需要配备应急充氮系统，并能实现远程操作的要求；在氯硅烷及硅烷尾气回收和处理方面，提出了事故紧急排放气应设置应急喷淋系统，并与事故紧急排放气管网压力联锁的要求。

应急管理部相关负责人表示，考虑到现行的设计标准未能充分反映出多晶硅企业的安全生产特性且颁布时间较久，不能满足对多晶硅行业高危细分领域的安全管理新要求等因素，建议《规范》按照强制性标准执行。

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(出处: 海川化工论坛)