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精馏如何除三氯氢硅中的硼

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本帖最后由 BIERGAI 于 2009-9-13 11:19 编辑

通常的除硼的方法是在精制的第一个塔釜通入含饱和水的氮气,但由于会导致TCS的水解,所以很容易析出硅晶体导致堵塞塔板,所以通常第1个塔都是双塔切换操作(一个投运一个清洗).
我觉得这样的双塔操作会导致流量波动影响后面的工序.
其实目前有报道说氧化铝在合适的温度压力下会与硼和磷的氯化物反应吸附.
可否采取湿氮(粗除硼),氧化铝吸附剂(精除硼,除水,过滤水解产生的晶体)结合,在氯硅烷气体进入精制前进行预处理(双套设备切换操作以利清洗)

 

发表于 2009-9-13 10:11:06

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zdz2178939VIP会员 VIP会员 | 显示全部楼层       最后访问IP山西省
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听一些人说这个技术在美国的多晶硅企业有应用! 8# jjc985498

 

发表于 2009-9-16 08:52:52

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Peterpaul彼得保罗
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123GOVIP会员 VIP会员 | 显示全部楼层       最后访问IP江苏省
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本帖最后由 123GO 于 2009-9-16 19:45 编辑

硼相对于氯硅烷的分凝系数为0.8,因此利用简单的筛板塔精馏是很难去除的,现有的塔器温控无法达到那种精度,在保证量的前提下只能从源头抓QC了,硅粉、HCL都必须严格对待,另外B在氯硅烷中是以硼氢化物和硼氯化物存在的,硼氯化物相对来说可以络合,大家所说的反应估计就是加入二琉基苯甲腙吧,我不是很确定,但是这种络合剂确实有国外工厂使用过,硼氢化物确实和DCS的沸点很接近,但是这东西我们实践下来也是很难从DCS中分离出来的(我们还是要用DCS的),另外楼上几位朋友说的关于B的含量问题,你们说的含量都太高了,GB/T 12963-1996硅多晶中明确给出了B含量要求,小于等于0.5 PPB,这个指标是标准的,国际ASIMI标准的含量也是<0.5PPB体积浓度,B对于将来产出的PV MODUL 的少子寿命影响很大,所以大家要严格控制,谢谢

 

发表于 2009-9-16 16:44:52

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Aaron80VIP会员 VIP会员 | 显示全部楼层       最后访问IP四川省
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采用精馏除硼能达到ppb级,生产的多晶硅可达到中高等水平,但如果要生产高端产品的话,还需采用别的措施除硼,如湿氮除硼,络合及吸附等

 

发表于 2009-9-16 18:57:39

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lzf1211VIP会员 VIP会员 | 显示全部楼层       最后访问IP浙江省
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大家都说BCl3的沸点和sihcl3差不多,所以很难除去,可是我计算的结果发现在相同的压力下,两者的沸点其实相差很大的,怎么说很难除去呢?
我知道现在BCl3是很难除去,可是不知道为什么。 24# Aaron80

 

发表于 2009-9-23 20:36:23

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zjirisVIP会员 VIP会员 | 显示全部楼层       最后访问IP陕西省
头衔:  TA暂未设置 
大家都说BCl3的沸点和sihcl3差不多,所以很难除去,可是我计算的结果发现在相同的压力下,两者的沸点其实相差很大的,怎么说很难除去呢?
我知道现在BCl3是很难除去,可是不知道为什么。 24# Aaron80
lzf1211 发表于 2009-9-23 20:36



应该是B很难除,而不是BCl3。而B难除是现在都不明确B及其化合物与三氯氢硅是否还有其他形态存在

 

发表于 2009-9-24 10:06:59

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hbzhy1VIP会员 VIP会员 | 显示全部楼层       最后访问IPInvalidIPAddress
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回复 25# lzf1211


    BCl3与SiH2Cl2沸点相近

 

发表于 2011-1-23 19:16:45

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天马_行空VIP会员 VIP会员 | 显示全部楼层       最后访问IP天津市
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回复 27# hbzhy1
除硼并不困难的,
只是能耗需要增加
俄罗斯湿氮除硼之类的工艺,想降低能耗,但是会引起其他的问题。
并不合适

 

发表于 2011-1-23 21:14:23

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dengjieboVIP会员 VIP会员 | 显示全部楼层       最后访问IP内蒙古自治区
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回复 19# htl001


    貌似进料中B含量在50PPb还是不够纯的吧,这样的纯度的三氯氢硅就能生产出合格的多晶硅来?

 

发表于 2011-1-26 19:34:46

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阳光媚VIP会员 VIP会员 | 显示全部楼层       最后访问IP四川省
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回复  htl001


    貌似进料中B含量在50PPb还是不够纯的吧,这样的纯度的三氯氢硅就能生产出合格的多晶 ...
dengjiebo 发表于 2011-1-26 19:34



50ppb太高了,只能出等外品。太阳能一级以上的必须小于0。5ppb。

 

发表于 2011-1-27 09:09:56

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1、在塔板数够时控制回流比,可以达到
2、反应精馏(络和)除硼
3、胺基树脂吸附,原理和超纯水除硼一样
4、分子筛吸附
5、活性碳吸附

 

发表于 2011-1-27 17:27:33

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赤道边缘VIP会员 VIP会员 | 显示全部楼层       最后访问IP陕西省
头衔:  TA暂未设置 
一般在多晶硅行业使用的都是除硼专用树脂,去除精度可达ppb甚至ppt级别,树脂吸附量在2g/l以上,吸附饱和的树脂只要使用盐酸再生既可重复使用。我们是国内最大的特种树脂生产厂家,感兴趣的话可以联系

 

发表于 2021-2-21 13:54:49

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