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多晶硅还原炉的硅棒倒伏

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piaowu0335VIP会员 VIP会员 | 显示全部楼层       最后访问IP江苏省
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有时从失败中可以寻找防止倒棒的原因

看看大多数倒下来的状态,然后再调整基本可以做到不倒棒,和楼上所说的磁场也有点关系,但是再不倒棒的时候,取产品又是问题了,不好完整的取了,呵呵

 

发表于 2009-4-6 21:40:03

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wangzi52032VIP会员 VIP会员 | 显示全部楼层       最后访问IP重庆市
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根据老外的经验:
主要原因是电流经过硅芯时不稳定,引起硅芯摇摆,硅芯根部与石墨夹套接触不好而出现亮点或亮环,当然和装硅芯和石墨夹套加工有关。
解决方法还是电流控制平稳。

 

发表于 2009-4-8 19:05:29

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Peterpaul彼得保罗
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urga0952VIP会员 VIP会员 | 显示全部楼层       最后访问IP宁夏回族自治区
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新手,学习了,谢谢大家。
感觉是:
安装:硅芯垂直度、硅芯卡具质量太差、硅芯质量;
电流:启动电流过大、控制过猛(哈哈);
气流:阀门开度操作量过大、汽化器控制出现问题等。
朋友们提到的其它方面还没体会到。

 

发表于 2009-5-19 14:19:04

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wyb13886835303VIP会员 VIP会员 | 显示全部楼层       最后访问IP美国纽约IBM公司
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倒棒分三个阶段,第一个阶段就是启炉是可能出现倒棒,原因就是在升温时,硅心会出现跳动的情况,致使硅心根部于卡瓣接触不良打火,致使温度过高而融心,硅棒倒棒。
第二,就是在生产过程中出现倒棒,原因可能就是温度没控制好,温差过大导致硅棒裂棒,最后倒棒。
第三,在停炉时,电流降幅太快,温差过大导致裂棒,倒棒。但是只要吧温度降1000度左右,空烧1个小时,吧炉子残余的三氯氢硅反应完后,在自动降低电流1.5个小时,就可以断电了,这种方法不能保证不裂棒,但是我们现在停炉基本没有出现过倒棒。实际上在停炉的过程中裂棒很常见,包括新光裂棒也不可避免。

 

发表于 2009-5-26 21:53:30

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ruiguobaoVIP会员 VIP会员 | 显示全部楼层       最后访问IP河南省
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在启成之后的倒炉应该和硅芯没有关系了。
我想大家说的倒炉大多数是在停炉时候到的。我觉得倒炉最主要的问题是在横梁上,我看过的倒炉最先都是横梁的硅片掉下来,然后就倒了。

 

发表于 2009-5-27 12:24:00

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小梅小华VIP会员 VIP会员 | 显示全部楼层       最后访问IP江西省
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学习下!

 

发表于 2009-6-2 15:11:08

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ddzx007VIP会员 VIP会员 | 显示全部楼层       最后访问IP新疆维吾尔自治区
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学习了。同意64楼的意见,倒伏分三个阶段。我们第三阶段倒伏较多,为了节约电,温差大而造成。

 

发表于 2009-6-17 11:46:48

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一般说的倒棒指的是启炉初期,硅芯比较细的时候吧
要是等到棒子长粗到因偏心而倒掉
那硅芯装得也太歪了

 

发表于 2009-6-21 20:43:29

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小君无邪VIP会员 VIP会员 | 显示全部楼层       最后访问IP四川省
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怎么都没有一个标准的答案哦。

 

发表于 2009-6-21 21:34:25

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toyoulvVIP会员 VIP会员 | 显示全部楼层       最后访问IPInvalidIPAddress
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我是成品后处理的,我们单位也老到棒,但还原的人不找自己的原因老说我们拉的硅芯不好。NND!在这里鄙视他们一把。呵呵

 

发表于 2009-6-23 22:01:37

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ruiguobaoVIP会员 VIP会员 | 显示全部楼层       最后访问IP河南省
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44# mao12345
1、可以增加水冷却啊!
2、可以控制气体的流量,确保可以将剩余热量及时带出。
3、希望你们买的聚四氟乙烯是真东西,我们这边老师傅也说现在的没有以前的好用,不耐击穿!

 

发表于 2009-6-25 11:53:52

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ars_henryVIP会员 VIP会员 | 显示全部楼层       最后访问IP新疆维吾尔自治区
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硅芯的质量也很重要!

 

发表于 2009-6-27 10:50:49

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韩雪VIP会员 VIP会员 | 显示全部楼层       最后访问IP宁夏回族自治区
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如果还原炉进料过程中的尾气压力和混合气进口压力恒定,进入还原炉的混合气的喷嘴直径不变,出来尾气的直径不变,还原炉还倒伏是怎么回事,一般在进料一小时左右发生倒伏现象

 

发表于 2009-7-3 15:34:58

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zjwwzVIP会员 VIP会员 | 显示全部楼层       最后访问IP浙江省
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SSSSS可真是这全球多晶硅行业的第一牛人哦,有机会可要多向他请教哦!!

 

发表于 2009-7-5 21:14:11

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wowluoVIP会员 VIP会员 | 显示全部楼层       最后访问IP四川省
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看完楼上所有的回答感觉收获很大,然后我想提一点不知道算原因不.还原炉内气体分布是不均匀的 一般来说都是中部是 气体停留时间最长的地方 头尾较少  如果等离子氢开度过大影响横梁长势有可能引发硅棒后期倒伏

 

发表于 2009-7-7 20:36:07

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功夫98748VIP会员 VIP会员 | 显示全部楼层       最后访问IP浙江省
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主要是炉内热场分布不均匀,硅棒生长不好所致。

 

发表于 2009-7-8 11:08:47

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楚楚VIP会员 VIP会员 | 显示全部楼层       最后访问IP河南省
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前期倒伏原因:
1、石墨卡瓣没有做好
2、硅芯没有插好
3、电流击穿硅芯瞬间,对硅芯根部有瞬间大的电压电击,使根部裂
4、横梁与硅芯接触不好
5、一对硅芯的两根长度不一样,使横梁倾斜
6、刚开始通氢气与进料时不均匀,可能吹倒硅芯
7、刚启成后电流升的太高,使硅芯熔断
8、硅芯装好后,将炉筒放底盘上时,可能震动导致硅芯歪或倒
后期倒伏原因:
1、石墨卡瓣没有做好,不能承载很大的重力
2、温度没有控制好,硅棒温度不均匀,特是横梁部分超过正常反应温度,发生“烧流”,使硅棒长成菜花儿状,纹理(菜花儿间隙)处温度更高,而后期进料不均匀,菜花儿间隙很难长好,停炉横梁裂,发生倒伏
3、前期硅芯若有倾斜的话,随着硅棒的长粗,上部比下部重,倾斜使重心发生偏移,发生倒伏
4、停炉过程中料与温度降得不均匀,是根部产生裂纹,发生倒伏

 

发表于 2009-7-8 15:24:35

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zhangwhVIP会员 VIP会员 | 显示全部楼层       最后访问IP重庆市
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SSSSS是哪的哦?? 中国有72对棒的炉子???

 

发表于 2009-7-8 16:13:15

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luoye888VIP会员 VIP会员 | 显示全部楼层       最后访问IP四川省
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硅棒在炉中倒棒,一般就是Si沉积不均匀,导致电阻不一样,因此温度就不一样而榕化,出现裂缝等,在这种情况下,只有调节电压、电流来解决。说白了这都与电气的控制息息相关,对电气控制系统进行改进,目前有对硅棒裂缝自动检测、缝合的功能,同时能够根据还原炉中硅棒生产长曲线来自动调节电流、电压。对倒棒能够进行检测的控制系统。
导致倒棒的原因有:
  1、硅芯的锥度低。
  2、前期倒棒很多是因为石墨卡瓣质量不过关、硅芯装的不直、横梁搭接不好。
  3、物料流速、配比不科学。

 

发表于 2009-7-11 00:15:18

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zjeteVIP会员 VIP会员 | 显示全部楼层       最后访问IP浙江省
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学习一下各位大侠的经验

 

发表于 2009-7-11 12:41:37

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