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多晶硅还原炉的硅棒倒伏

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关于防范还原炉中的硅棒倒伏问题,希望同业朋友各自发表下自己的见解。

 

发表于 2008-9-15 17:25:38

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happyfatboysVIP会员 VIP会员 | 显示全部楼层       最后访问IP湖北省
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我认为炉内的气体比例和载体的电压恒定以及流速是关键.

 

发表于 2008-10-1 02:55:30

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Peterpaul彼得保罗
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LHY8771VIP会员 VIP会员 | 显示全部楼层       最后访问IP江苏省
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回复 2楼 happyfatboys 的帖子

个人认为电压应当适时调整
其他同意

 

发表于 2008-10-15 17:23:06

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zhangsjjcVIP会员 VIP会员 | 显示全部楼层       最后访问IP河南省
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主要因素是装硅芯的问题

 

发表于 2008-10-25 19:54:01

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yuhan_xuVIP会员 VIP会员 | 显示全部楼层       最后访问IP四川省
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倒棒的原因有很多
1、刚启动时电流过大,根部发软。
2、硅芯倾斜
3、进料时通料过猛,硅芯吹歪
4、硅芯粗细不均匀,细的地方烧熔

温度高的原因有电流大、进料少、根部接触不好,打火等。

要防止倒棒,最根本的措施就是严格控制温度,不要超过1150度

 

发表于 2008-11-2 13:47:55

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jefer0803VIP会员 VIP会员 | 显示全部楼层       最后访问IP湖南省
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同意楼上的说法,但还有i
硅芯和横梁搭接问题值得关注。。。。

 

发表于 2008-11-3 15:15:15

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woshibeijingVIP会员 VIP会员 | 显示全部楼层       最后访问IP北京市
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关键还是装炉工的水平

 

发表于 2008-11-3 17:43:53

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dgl200801VIP会员 VIP会员 | 显示全部楼层       最后访问IP美国佐治亚州亚特兰大市Cox通信公司
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希望高人多加讨论!我需要多了解这方面的信息!呵呵!

 

发表于 2008-11-3 18:05:36

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happyfatboysVIP会员 VIP会员 | 显示全部楼层       最后访问IP湖北省
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硅芯的安装和嵌位应在初始的时候应安装好。
电压当然是实施调整的,但不可过频。

 

发表于 2008-11-4 20:59:47

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wjp1198VIP会员 VIP会员 | 显示全部楼层       最后访问IP青海省
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我知道有个单位的也倒了,希望高人多加讨论!我也需要多了解这方面的信息!

 

发表于 2008-11-5 16:16:49

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燕子爱飞VIP会员 VIP会员 | 显示全部楼层       最后访问IP北京市
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硅芯的粗细有要求,不能特别粗,否则难击穿,也不能太细,否则易断裂倒伏;硅芯的安装需要一定的技巧,一定要特别小心,因为硅芯很脆,易断裂;另外,对击穿电压也有严格的要求,而且电压要稳定。

 

发表于 2008-11-6 14:44:12

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xuelangpkVIP会员 VIP会员 | 显示全部楼层       最后访问IP美国佐治亚州大学系统网络
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回复11楼
硅芯粗了电阻率小容易击穿
倒棒原因很多
1、前期倒棒很多是因为石墨卡瓣质量不过关、硅芯装的不直、电流加的太快熔断、横梁搭接不好
2、运行中倒棒很多时候是与工艺和还原炉设计有关,如运行过程中温度控制不好,混合气进料控制不好,还有就是炉筒水温控制不好导致硅棒外圈偏向里面生长而导致重心偏移
3、硅棒太长也容易倒棒,国内一般都不超过2.5m

 

发表于 2008-11-6 20:59:13

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我认为,造成硅棒倒伏的问题中,象上述各位大虾说的原因,有很多我们可以很容易的解决,比如说电流问题,原始硅棒的安装问题等等,我认为 造成倒伏的很关键的因素是进入还原炉的三氯氢硅或者硅烷气体分布不均造成的,归根结底是在于还原炉的结构问题,进气分布不均匀,造成硅棒的生长速度不均匀,上下硅棒粗细不一致,从而造成倒伏问题。个人己见,大家讨论讨论。

 

发表于 2008-11-8 20:41:18

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cjh92131VIP会员 VIP会员 | 显示全部楼层       最后访问IP福建省
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很不错的一个帖子,学习了,希望多出这样的细节讨论,对我们这些新人很有用

 

发表于 2008-11-10 10:52:43

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zengpengkeVIP会员 VIP会员 | 显示全部楼层       最后访问IP广东省
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回复 13楼 guxinchun888 的帖子

也许你说的才是主要原因

 

发表于 2008-11-18 17:15:55

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权威发话啦VIP会员 VIP会员 | 显示全部楼层       最后访问IP江苏省
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以上的説法都有道理,但不是真正的主要原因。
目前,国内在调试的多晶硅炉大多开不起来的主要原因都是
倒棒。原因有上面的各位楼主説的,但是主要的是:启动是高压产生的磁场不平衡,
加上进料的速度和阀门的流量曲线与硅棒的震动不能互消。
炉内的磁场主要由炉子决定,也就是由厂家的生产设备的技术研究水平决定的。
同情各位在生产和管理岗位的同仁。

 

发表于 2008-11-20 16:56:43

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SSSSSVIP会员 VIP会员 | 显示全部楼层       最后访问IP江西省
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我设计了直径3000mm的炉子,72对棒,芯棒长3500mm,从不倒伏。
别忘发短消息

 

发表于 2008-11-21 15:09:32

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zhcp1984VIP会员 VIP会员 | 显示全部楼层       最后访问IP河南省
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最常见的是硅芯没装好而导致倒棒的问题吧
PS:楼上的是真的吗

 

发表于 2008-11-21 15:15:16

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tao8686886008VIP会员 VIP会员 | 显示全部楼层       最后访问IP内蒙古自治区
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硅棒发生到状,当然和硅芯的安装有关系,但我认为他不是主要的原因,
1,电流没有控制好,如电流控制不好可能使硅芯局部发生融化,或者局部温度太高,而使硅棒生长不均匀而发生倒塌。
2,气流气速控制不稳定,在初始阶段气流气速太大会吹到硅芯。
3,在生长中要不断的调整电压电流,在设计中要选用合理的电源控制装置。随着硅棒直径的增长电流不断的上升,电压下降。

 

发表于 2008-11-21 20:13:29

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SSSSSVIP会员 VIP会员 | 显示全部楼层       最后访问IP江西省
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硅芯棒布置有关系,也就是磁场力要得到平衡

 

发表于 2008-11-22 10:19:20

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