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标题: 【海川新能源】十多年前的48对的还原炉 [打印本页]

作者: 沙漠里的游鱼    时间: 2023-6-20 11:26
标题: 【海川新能源】十多年前的48对的还原炉




一种多晶硅还原炉,包括炉体(1),设置在炉体(1)下方的底盘(3),设置在底盘(3)上的电极(12)和与电极(12)对应安装的硅芯(13),设置在底盘(3)下方的进气管(6)和出气管(8),进气管(6)与安装在底盘(3)上的喷口(7)连通,出气管(8)与安装在底盘(3)上的尾气出口(15)连通,炉体(1)内设有夹套,夹套分别与炉体冷却水进水管(9)和炉体冷却水出水管(10)相连通,底盘(3)上设有底盘冷却水进水管(4)和底盘冷却水出水管(5),其特征在于所述电极(12)为48对,即96个,均匀分布在底盘(3)上。

2. 根据权利要求l所述的多晶硅还原炉,其特征在于所述电极(12)在底盘(3)上沿5 个圆周均匀分布,由内圆周向外圆周,电极的数量分别为第一圈6个、第二圈12个、第三圈 18个、第四圈24个、第五圈36个。

3. 根据权利要求2所述的多晶硅还原炉,其特征在于所述的喷口 (7)为66个,均匀分 布在底盘(3)上;所述的尾气出口 (15)为l个,设置在底盘(3)中心。

4 根据权利要求3所述的多晶硅还原炉,其特征在于所述的喷口 (7)在底盘上沿5个 圆周均匀分布,最内喷口圆周设置在尾气出口 (15)与最内电极圆周之间,其它喷口圆周设 置在相邻两个电极圆周之间,由内圆周向外圆周,喷口的数量分别为第一圈3个、第二圈6 个、第三圈12个、第四圈18个、第五圈27个。

5. 根据权利要求2〜4中任意一项所述的多晶硅还原炉,其特征在于每一圈电极,相邻 的两个电极(12)通过电极板连接,并通过设置在电极(12)上的硅芯(13)分别串接组成电 路回路。


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