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[讨论] 最近生产中,还原炉内总是长毛。

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4005 |49
sc20161005楼主 VIP会员 VIP会员 | 显示全部楼层       最后访问IP四川省
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我们这里大部分是综合症,石墨,炉桶地盘烘干氮气管线等,每个环节都差一点就不好整了

 

发表于 2017-1-20 11:17:43

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ylyh1024VIP会员 VIP会员 | 显示全部楼层       最后访问IP内蒙古自治区
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以前不长,现在长了,看工艺什么参数变化了。

 

发表于 2017-1-23 11:28:05

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Peterpaul彼得保罗
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MudyVIP会员 VIP会员 | 显示全部楼层       最后访问IP浙江省
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二氯高?

 

发表于 2017-2-10 16:09:19

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jameskongdaVIP会员 VIP会员 | 显示全部楼层       最后访问IP湖北省
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1、原料中二氯含量偏高了,
2、进料摩尔比偏低,氢气量偏低,
3、进料温度过高,这种不定型硅是硅烷气相反应生成的硅,而不是在硅棒表面沉积。
到这种情况说明你们的工艺调整快到位了,硅棒的生长速度不能往上加了,因为出现这种情况对炉子底盘,电极损伤极大,而且也不稳定,很难开到足时间。
基本上就是以上三个方面的原因,漏水,漏氮气神马的根本不是这种情况,漏水的话炉内的粉末是黄色絮状的东东。

 

发表于 2017-2-23 14:12:02

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sc20161005楼主 VIP会员 VIP会员 | 显示全部楼层       最后访问IP四川省
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jameskongda 发表于 2017-2-23 14:12
1、原料中二氯含量偏高了,
2、进料摩尔比偏低,氢气量偏低,
3、进料温度过高,这种不定型硅是硅烷气相 ...

谢谢

 

发表于 2017-2-24 01:44:14

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YPMNBVIP会员 VIP会员 | 显示全部楼层       最后访问IP四川省
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这个帖子不错。

 

发表于 2017-3-5 12:51:57

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277302698VIP会员 VIP会员 | 显示全部楼层       最后访问IP青海省
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好帖子 哈哈 学到了很多

 

发表于 2017-5-21 16:46:42

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张磊94VIP会员 VIP会员 | 显示全部楼层       最后访问IP上海市
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应该是尾换夹套漏水导致的

 

发表于 2017-5-25 10:03:30

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动感超人38VIP会员 VIP会员 | 显示全部楼层       最后访问IP新疆维吾尔自治区
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sc20161005 发表于 2016-11-17 07:52
尾气,有内漏情况。进料手阀和调节阀貌似也有时漏。这个会影响么

会!内漏的是毛刺状,失调的大部分是珊瑚状,硅芯污染这个就是各色随机了

 

发表于 2017-6-9 12:00:36

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sc20161005楼主 VIP会员 VIP会员 | 显示全部楼层       最后访问IP四川省
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动感超人38 发表于 2017-6-9 12:00
会!内漏的是毛刺状,失调的大部分是珊瑚状,硅芯污染这个就是各色随机了

谢谢!

 

发表于 2017-6-10 09:09:24

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